ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความสะอาดของห้องปลอดเชื้อ (Fab) ถือเป็นสิ่งสำคัญในการรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์ แหล่งมลพิษหลักในห้องปลอดเชื้อ ได้แก่ กิจกรรมของบุคลากร การทำงานของอุปกรณ์ วัตถุดิบและวัสดุเสริม วิธีการทำงาน และสภาพแวดล้อมของโรงงาน โดยมลพิษจากอนุภาคมีสัดส่วนสูงที่สุด บทความนี้จะสำรวจองค์ประกอบสำคัญของการจัดการห้องปลอดเชื้อของโรงงาน และวิเคราะห์วิธีการปรับปรุงมาตรฐานความสะอาดอย่างต่อเนื่องในขณะที่ปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพพลังงานและความยั่งยืน
1. แหล่งกำเนิดมลพิษในห้องสะอาดและมาตรการควบคุม
มีแหล่งมลพิษต่างๆ ในห้องปลอดเชื้อของ Fab ซึ่งมลพิษจากอนุภาคเป็นมลพิษที่พบบ่อยที่สุดและเป็นปัญหาที่ท้าทายที่สุด เพื่อให้บรรลุมาตรฐานความสะอาดในระดับต่างๆ Fab จะต้องติดตั้งระบบฟอกอากาศที่ซับซ้อน โดยทั่วไปจะใช้ตัวกรอง HEPA (High Efficiency Particulate Air) และ ULPA (Ultra Low Penetration Air) เพื่อฟอกอากาศ ตัวกรองเหล่านี้สามารถกำจัดอนุภาคขนาดเล็กออกจากอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพอากาศในห้องปลอดเชื้อ ในขณะเดียวกัน การควบคุมอุณหภูมิและความชื้น รวมถึงการรักษาสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันบวกเมื่อเทียบกับภายนอกห้องปลอดเชื้อ ถือเป็นมาตรการสำคัญในการป้องกันการบุกรุกของสารมลพิษ
การควบคุมอนุภาคที่มีประสิทธิภาพถือเป็นหัวใจสำคัญของการจัดการห้องปลอดเชื้อของ Fab มีข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับการเข้าและออกของบุคลากร รวมถึงการใช้เครื่องป้องกันส่วนบุคคล (PPE) บุคลากรต้องผ่านเครื่องเป่าลมก่อนเข้าไปในห้องปลอดเชื้อเพื่อลดอนุภาคที่เกาะติดเสื้อผ้า หลังจากเข้าไปในห้องปลอดเชื้อแล้ว พนักงานต้องสวมเสื้อผ้าและหน้ากากที่ปราศจากฝุ่นเพื่อลดการปล่อยอนุภาคของมนุษย์ นอกจากนี้ การใช้มาตรการควบคุมไฟฟ้าสถิตขั้นสูงสามารถลดการดึงดูดของฝุ่นด้วยไฟฟ้าสถิต และลดความเสี่ยงต่อมลพิษเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนการถ่ายโอนวัสดุที่เข้มงวด เช่น การใช้บรรจุภัณฑ์ที่ปราศจากฝุ่นและระบบการถ่ายโอนแบบปิด
2. ความสำคัญของการเฝ้าระวังและบำรุงรักษา
การติดตามและบำรุงรักษามีความสำคัญอย่างยิ่งเพื่อให้แน่ใจว่าห้องปลอดเชื้อของ Fab ยังคงเป็นไปตามมาตรฐานความสะอาดที่กำหนดไว้ ซึ่งรวมถึงการติดตามคุณภาพอากาศอย่างสม่ำเสมอ การติดตามความเข้มข้นของอนุภาคในระหว่างกระบวนการผลิต และการประเมินประสิทธิภาพของอุปกรณ์ จำเป็นต้องมีแผนการบำรุงรักษาที่ครอบคลุมเพื่อรักษาการทำงานที่มีประสิทธิภาพของห้องปลอดเชื้อ แผนเหล่านี้มักรวมถึงการตรวจสอบและบำรุงรักษาระบบกรอง อุปกรณ์การผลิต และโครงสร้างพื้นฐานของห้องปลอดเชื้อเป็นประจำ มาตรการป้องกันเหล่านี้ช่วยขจัดความเสี่ยงจากมลพิษที่อาจเกิดขึ้นและช่วยให้สภาพแวดล้อมการผลิตมีเสถียรภาพอย่างยั่งยืน
ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดการห้องปลอดเชื้อของ Fab ต้องเผชิญกับความท้าทายมากมาย ด้วยกลยุทธ์การควบคุมมลพิษที่มีประสิทธิภาพ การตรวจสอบและบำรุงรักษาอย่างต่อเนื่อง และเทคโนโลยีประหยัดพลังงานและการพัฒนาอย่างยั่งยืนที่เป็นนวัตกรรมใหม่ Fab สามารถรักษาโหมดการผลิตที่มีประสิทธิภาพและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมพร้อมปรับปรุงมาตรฐานความสะอาด ซึ่งไม่เพียงช่วยปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์เท่านั้น แต่ยังวางรากฐานสำหรับการพัฒนาอย่างยั่งยืนของอุตสาหกรรมทั้งหมดอีกด้วย
บริษัท ซูโจวฟาร์มา แมชชีนเนอรี่ จำกัด
2024/09/6
มีอา
